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a.去污处理。零件装炉前要用或酒精进行脱脂、去污处理，零件表面不允许有锈蚀及脏污。

b.防渗处理。对零件非渗氮部分，可用电镀或涂料法进行防渗氮处理。

c.渗氮件的表面质量应良好，不允许有脱碳层存在，因此，零件在预先热处理前应留有足够的加工余量，以便在渗氮前的机加工能将脱碳层全部去除，以保证渗氮层的质量。

d.装炉前检查设备和渗氮夹具、电系统、管道、氨分解测定仪等应保证正常使用;渗氮夹具不允许有脏物或氧化皮，如有应清除。

e.随炉试样。随炉的试样应与渗氮零件通材料并经过同样的预先处理。

(1)渗氮前的预备热处理调质--渗氮工件在渗氮前应进行调质处理,以获得回火索氏体组织.调质处理回火温度一般高于渗氮温度.

(2)渗氮前的预备热处理去应力处理--渗氮前应尽量消除机械加工过程中产生的内应力以稳定零件尺寸.消除应力的温度均应低于回火温度,保温时间比回火时间要长些,再缓慢冷却到室温.断面尺寸较大的零件不宜用正火.工模具钢必须采用淬火回火,不得用退火.

(3)渗氮零件的表面粗糙度Ra应小于1.6um,表面不得有拉毛、碰伤及生锈等缺陷.不能及 时处理的零件须涂油保护,以免生锈.吊装入炉时再用清洁擦净以保证清洁度.

(4)含有尖角和锐边的工件,不宜进行氮化处理.

(5)局部不氮化部位的保护,不宜用留加工余量的方法.

(6)表面未经磨削处理的工件,不得进行氮化.

液氮浸泡式制冷：

这种方式就是将工件直接放到装有液氮的容器中，使工件骤冷至液氮温度，并在此温度下停留一段时间，后深冷处理设备复温而完成整个深冷处理过程。d、渗氮层脆性应在零件工作部位或随炉试样的表面上检测，一般零件为1-3级为合格，重要零件1-2级为合格，对于渗氮后留有磨痕的零件，也可在磨去加工余量后的表面上进行测定e、经气体渗氮后的零件，必须进行检验。深冷处理的研制前期都是采用液氮浸泡式方法进行深冷处理的。由于这种深冷处理工艺简单方便，应用较为广泛。但是，这种方法的降温速度较快，导致热应力过大，容易对工件材料造成组织损害，而且工件材料在降温过程中降温速度是不可控制的，进而影响工艺的可调性。

对于钢铁材料，零件淬火后，马氏体组织中存在存在一定量的残余奥氏体，尤其是马氏体转变温度较低的材料，残余奥氏体可能多达10%以上。③炉中之空气排除至10%以下，或排出之气体含90%以上之NH3时，再将炉温升高至渗氮温度。残余奥氏体是一种不稳定组织，可以逐步转变成马氏体。奥氏体转变成马氏体体积会变大，造成零件尺寸的变化。同时，奥氏体的机械性能也不稳定。深冷处理就是将淬火后工件置入较低温度的环境中（比如5℃以下的冷水中），促进残余奥氏体向马氏体的转变，以提高材料性能。一般比较重要的零件才会采用深冷工艺，比如精密量具，精密轴承等。